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株式会社ソディックエフ・ティEMG事業部は大型ファインセラミックスの素材開発・製造・販売メーカーです。

特殊製作品 紹介


アルミナセラミックス・ジルコニアセラミックス 特殊部品 製作例


    • (写真左より)
    •  ノズル φ16×40L
       ノズル φ16×25L φ2-30°テーパ
       プーリーベース(φ50) 73×71×30t

       材質 アルミナセラミックスSA812


    • (写真左上より右回りに)         
    •  ローラー(芯金)φ70×‐26t 同芯度0.01
       ローラー φ70-25t 同芯度0.01
       プーリーユニット(大)
       プーリーユニット(小)φ4.7-10t 同芯度0.01
       溝付きプーリー(タイコ型)
                φ40-24t R350 同芯度0.05

       材質 アルミナセラミックス・ジルコニアセラミックス


    • アルミナセラミックス 特殊部品 製作例


    •  溝付き定盤
    •   材質 アルミナセラミックス SA610
        サイズ 150×150×30t
       
       
       
        
    •  溝付丸定盤
    •   材質 アルミナセラミックス SA610
        サイズ φ110×25t

    •  アタッチメント
    •   材質 アルミナセラミックス SA610  
        サイズ 114(97)×105×47t φ75
        

    • チャックテーブル 製作例

    •  ピンチャック
    •   材質 アルミナセラミックスSA610・SA509・SABR6
        最大サイズ 1300×1300
                (組合せにより最大G8まで対応可)
        平面度 10〜20μm

        実用例
        ・検査装置の薄板ガラス吸着テーブル
        ・露光装置の薄板ガラス吸着テーブル

       
    •  真空チャック
    •   材質 アルミナセラミックスSA509
        最大サイズ 900×600
        平面度 5μm

        実用例
        ・貼り合せ装置の薄板ガラス吸着テーブル
        ・印刷機の薄板ガラス吸着テーブル
        ・マシニングセンターの薄板ガラス吸着テーブル


    •  静電チャック
    •   材質 アルミナセラミックスSA610・SA511
        最大サイズ 650×550
        平面度 3μm

        実用例
        ・貼り合せ装置の薄板ガラス吸着テーブル
        ・検査装置の薄板ガラスや基板の吸着テーブル
        ・印刷機の薄板ガラス吸着テーブル


    • 精密ステージ 製作例

    •  リニアモータ駆動 エアースライド XYステージ
    •   石定盤サイズ 2200×1500×350
        セラミックステーブルサイズ 1100×900
        上(X)軸 ビーム長 1350 ST670
        下(Y)軸 レール長 2200 ST1050
        精度 XY 真直度 1μm

        実用例
        ・FPD製造装置


    •  リニアモータ駆動 エアースライド XYステージ
    •   サイズ
        規格 X500 Y440
        精度 XY 真直度 1μm

        実用例
        ・FPD製造装置

バナースペース







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